Đã thêm kết quả bóng đá 7mo loạt "Nanoplane" cho thiết bị sản xuất chất lỏng và chất bán dẫn

ngày 30 tháng 11 năm 2000

Sumitomo Heavy Industries, Ltd. (Chủ tịch, Hino Yoshiro) vui mừng thông báo rằng họ đã thương mại hóa các thiết bị định vị siêu chính xác cho các thiết bị tinh thể và chất bán dẫn lỏng và đã thêm chúng kết quả bóng đá 7mo loạt "Nanoper".

kết quả bóng đá 7m bị định vị được cài đặt trong kết quả bóng đá 7m bị sản xuất chất bán dẫn để phù hợp với việc thu nhỏ các kết quả bóng đá 7m bị và thông lượng được cải thiện được yêu cầu chính xác và nhanh hơn bao giờ hết.
Gần đây chúng tôi đã thương mại hóa giai đoạn XY cực kỳ chính xác "Mô hình SLHUS-370", cho phép độ chính xác định vị tốc độ cao, nano (1/1 tỷ).
Độ chính xác dừng đã đạt được dưới mức cao nhất của ngành là ± 10nm (nanomet), đạt được độ chính xác định vị cần kết quả bóng đá 7m cho các kết quả bóng đá 7m bị tiếp xúc và kết quả bóng đá 7m bị phơi nhiễm chất bán dẫn thế hệ tiếp theo. Hơn nữa, tốc độ tối đa nhanh hơn 2,5 lần so với mô hình hiện tại của chúng tôi, ở mức 300mm mỗi giây. Nó sử dụng giao thoa kế laser và được trang bị cơ chế điều khiển kết hợp một người quan sát nhiễu bên ngoài giúp cải thiện hiệu suất quét giai đoạn (sau) và điều khiển ngáp hoạt động ngăn chặn ngáp. Ngoài ra, nó sử dụng một hệ thống truyền động hoàn toàn không tiếp xúc với vòng bi không khí và động cơ tuyến tính, cung cấp tốc độ cao và độ chính xác cao, cũng như độ sạch và không cần bảo trì.
Là nhà sản xuất các kết quả bóng đá 7m bị định vị chính xác, chúng tôi xử lý mọi thứ từ các giai đoạn đa năng bằng cách sử dụng ốc vít bóng đến các giai đoạn siêu chính xác được điều khiển bởi các động cơ tuyến tính, chúng tôi đáp ứng nhu cầu của người dùng như là nhà sản xuất các kết quả bóng đá 7m bị định vị chính xác với một phạm vi rộng.

Ngoài ra, thiết bị định vị siêu chính xác "Mô hình SLHUS-370" sẽ được trưng bày tại Bán năm 2000, sẽ được tổ chức tại Makuhari Messe từ tuần tới kết quả bóng đá 7mo ngày 6 tháng 12.

*"Nanoplane" là nhãn hiệu đã đăng ký của các ngành công nghiệp nặng Sumitomo.


1. Các tính năng của giai đoạn XY cực kỳ chính xác "Mô hình SLHUS-370":
(1) Bằng cách áp dụng giao thoa kế laser, việc dừng độ chính xác từ 10nm trở xuống đã đạt được.
(2) sử dụng động cơ tuyến tính hiệu suất cao, hiệu suất cao, chi phí thấp.
(3) Người quan sát xáo trộn và điều khiển ngáp hoạt động được cung cấp cho cơ chế điều khiển
Được thông qua (bằng sáng chế của công ty chúng tôi). Cải thiện độ chính xác định vị và quét (sau) độ chính xác.
(4) Áp dụng cấu trúc giai đoạn loại H duy nhất trong đó các trục X và Y trên cùng một mặt phẳng.
Trung tâm trọng lực thấp hơn giúp cải thiện độ chính xác chuyển động và đồng thời đạt được độ nhỏ gọn.
(5) Lái xe không tiếp xúc hoàn toàn với động cơ tuyến tính và vòng bi không khí
Đạt được sự sạch sẽ và không cần bảo trì.


2. Thông số kỹ thuật chính:
Phổ biến cho x và y
(1) Đột quỵ: 370mm
(2) Độ phân giải tỷ lệ: 0,6nm (giao thoa kế laser)
(3) Tốc độ tối đa: 300mm/giây
(4) Dừng chính xác: ± 10nm hoặc ít hơn
(5) Độ thẳng (ngang/dọc) 12nm/20nm (giá trị hiệu chỉnh điều khiển)

3. giá:
Khoảng 30 triệu yên (tùy thuộc kết quả bóng đá 7mo thông số kỹ thuật)