Mô hình SLHU-100 Thiết bị định vị kết quả bóng đá trực tuyến hôm nay cho thiết bị sản xuất tinh thể và chất bán dẫn lỏng

ngày 16 tháng 7 năm 2001

52023_52167

Việc thu nhỏ và tinh tế của các thiết bị tiếp tục tiến triển từng ngày và các thiết bị định vị được sử dụng trong thiết bị sản xuất và kiểm tra yêu cầu độ kết quả bóng đá trực tuyến hôm nay của chuyển động hai chiều (XY) đã được cải thiện, cũng như chuyển động ba chiều (XYZ).
Model SLHU-100 sử dụng cấu trúc phẳng độc đáo của riêng chúng tôi và hoàn toàn không tiếp xúc được điều khiển bởi động cơ đồng và vòng không khí đồng tuyến XYZ, cung cấp độ kết quả bóng đá trực tuyến hôm nay cao, độ sạch và không cần bảo trì. Hơn nữa, trục z sử dụng cơ chế cân bằng không khí để cải thiện độ kết quả bóng đá trực tuyến hôm nay. Hơn nữa, bằng cách áp dụng cấu trúc phẳng và vật liệu gốm gia công kết quả bóng đá trực tuyến hôm nay, chúng tôi đã đạt được độ thẳng (lưu ý 1) là 0,3 μm. Cơ chế điều khiển được trang bị công nghệ điều khiển của chúng tôi, "Người quan sát xáo trộn" và "Kiểm soát ngáp hoạt động", điều khiển các xáo trộn của giai đoạn và giữ cho chuyển động ngáp ở mức tối thiểu, đạt được các lỗi theo dõi (lưu ý 2)

* "Nanoplane" là nhãn hiệu đã đăng ký của các ngành công nghiệp nặng Sumitomo.

1. Các tính năng của mô hình giai đoạn kết quả bóng đá trực tuyến hôm nay XYZ SLHU-100
52707_52769
(2) sử dụng động cơ tuyến tính hiệu suất cao, hiệu suất cao, chi phí thấp.
(3) Độ kết quả bóng đá trực tuyến hôm nay cao đạt được bằng cách sử dụng cấu trúc phẳng độc đáo của chúng tôi và các bộ phận gốm được gia công kết quả bóng đá trực tuyến hôm nay.
(4) Độ kết quả bóng đá trực tuyến hôm nay theo dõi cao đã đạt được bằng cách áp dụng các cơ chế điều khiển của chúng tôi, người quan sát xáo trộn và kiểm soát ngáp hoạt động.

2. Thông số kỹ thuật kết quả bóng đá trực tuyến hôm nay:

	X trục	Y trục	Z trục
1) đột quỵ:	100mm	50mm	50mm
2) Hệ thống ổ đĩa:	Động cơ tuyến tính + ổ trục không khí
3) Tốc độ tối đa:	30 mm/s	30 mm/s	30 mm/s
4) Lỗi sau:	± 0,1μm	± 0,1μm	± 0,3μm
5) Độ thẳng (ngang dọc):	0.3μm	0.3μm	0.3μm

3. Giá tiêu chuẩn: 30 triệu yên (tùy thuộc vào thông số kỹ thuật)

(Lưu ý 1) Độ thẳng: Lỗi vị trí dọc và ngang trong quá trình di chuyển đối với các quỹ đạo tuyến tính
(Lưu ý 2) Lỗi sau: Lỗi giữa vị trí lệnh và vị trí thực tế trong quá trình quét hoạt động