kết quả bóng đá 7m bị làm sạch wafer dựa trên aerosol dựa trên aerosol
ngày 17 tháng 9 năm 2001
Sumitomo Heavy Industries, Ltd. (Chủ tịch, Hinano Yoshiro) đã cung cấp "ClearJet", một kết quả bóng đá 7m bị làm sạch wafer bán dẫn sử dụng ARGON
Sản phẩm này là một kết quả bóng đá 7m bị loại bỏ các hạt mịn (chú thích 1) tuân thủ bề mặt wafer bằng cách phun aerosol argon (chú thích 2). Công ty chúng tôi đã cùng phát triển ứng dụng công nghệ làm sạch điện tử Samsung và Argon Aerosol vào các dây chuyền sản xuất chất bán dẫn và đã xác nhận hiệu quả làm sạch cao trong các quy trình khác nhau trong các quy trình bán dẫn tiên tiến. Kết quả của việc này, chúng tôi đã nhận được đơn đặt hàng cho kết quả bóng đá 7m bị này từ Samsung Electronics và gần đây đã giao nó cho nhà máy Kiheung của công ty.
Khi các mạch bán dẫn trở nên thu nhỏ và mật độ hơn, kết quả bóng đá 7m bị làm sạch wafer được sử dụng trong quy trình sản xuất được yêu cầu phải có hiệu suất làm sạch cao hơn bao giờ hết. Cụ thể, các vật liệu khác nhau được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn đã được giới thiệu, chẳng hạn như kim loại đặc biệt bao gồm đồng và bạch kim, và vật liệu cách điện hữu cơ, và các phương pháp làm sạch thông thường sử dụng nước và hóa chất đã bị ảnh hưởng bởi các vật liệu và tính chất của kết quả bóng đá 7m bị bị hỏng.
Để giải quyết vấn đề này, công ty chúng tôi đã phát triển một kết quả bóng đá 7m bị làm sạch bằng argon, một trong những khí trơ không ảnh hưởng xấu đến vật liệu và đã được thương mại hóa chúng.
kết quả bóng đá 7m bị này sử dụng tủ lạnh để làm mát khí argon đến khoảng 180 độ và để nó xâm nhập vào buồng làm sạch chân không. Khi khí argon đẩy ra khỏi vòi phun, nó được làm mát thêm bởi một tác động mở rộng đáng tin cậy, và một số trong đó trở thành các hạt mịn riêng lẻ, tạo thành một máy bay phản lực aerosol là hỗn hợp chất rắn, khí và chất lỏng. Máy bay phản lực này loại bỏ các hạt được gắn vào bề mặt wafer. Aerosol bị bay hơi khi nó chạm vào wafer và bị bay hơi với các hạt mà không ảnh hưởng đến vật liệu. Chúng tôi cũng đã cải thiện năng lượng làm sạch bằng cách phát triển một chức năng tăng tốc hơn nữa máy bay phản lực aerosol. Do đó, có thể áp dụng nó cho các bước làm sạch khác nhau, chẳng hạn như loại bỏ các hạt siêu mịn với độ bám dính mạnh từ 0,05 μm trở xuống, loại bỏ dư lượng được tạo ra trong quá trình khắc và loại bỏ các hạt bùn sau CMP.
Chúng tôi dự định sẽ truyền bá kết quả bóng đá 7m bị này như một phương tiện hiệu quả để giải quyết các vấn đề với các quy trình làm sạch xảy ra do mật độ tăng của các kết quả bóng đá 7m bị bán dẫn và góp phần sản xuất các kết quả bóng đá 7m bị bán dẫn tiên tiến trong tương lai.
[Tính năng kết quả bóng đá 7m bị]
53055_53110
Chức năng gia tốc máy bay phản lực aerosol đạt được tốc độ loại bỏ cao từ 99,9% trở lên đối với các hạt có độ dày 0,2 μm trở lên trong các thử nghiệm loại bỏ cho các hạt alumina và silica được sử dụng trong CMP.
Không sử dụng nước tinh khiết, hóa chất hoặc dung môi, vì vậy không cần xử lý chất lỏng chất thải.
[Khả năng xử lý]
wafer 8 inch, hơn 40 tờ mỗi giờ (xử lý tấm)
[Thành phần chính]
2 Phòng khóa tải, buồng robot chuyển, hai buồng rửa, hệ thống trao đổi nhiệt để kết quả bóng đá 7m mát argon, hệ thống xả chân không khô, hệ thống kiểm soát máy bay/máy điều khiển máy bay
[kết quả bóng đá 7m bị làm mát]
Tủ lạnh Helium loại Gifford McMahon của chúng tôi
(Lưu ý 1) Các hạt: Các chất gây ô nhiễm hạt mịn tuân thủ bề mặt wafer.
(Lưu ý 2) ARIGON Aerosol: Một trạng thái hỗn hợp của chất rắn argon, chất lỏng và khí.
