Được bán bởi bóng đá kết quả Trục đơn "Giai đoạn mỏng" Đơn vị
27 tháng 11 năm 2001
Sumitomo Heavy Industries, Ltd. (Chủ tịch: Hino Yoshiro) đã phát triển đơn vị "Slim Giai đoạn" cho Thiết bị Sản xuất và Kiểm tra Thiết bị cho Tinh thể, Bán dẫn và Thông tin Quang học và Thông tin Truyền thông, và sẽ bắt đầu bán nó vào tháng 1 năm 2002.
Trong khi các thiết bị như tinh thể lỏng và chất bán dẫn đang trở nên tinh tế và tinh vi hơn, chi phí đang tăng lên và các thiết bị định vị được sử dụng trong thiết bị sản xuất và kiểm tra cũng không chỉ được yêu cầu để cải thiện độ bóng đá kết quả chuyển động mà còn giảm chi phí.
Ngoài loạt các thiết bị định vị bóng đá kết quả của nanoplane (giai đoạn XY) đã được phát hành, công ty chúng tôi hiện đang tạo ra một loạt các đơn vị "giai đoạn mỏng" giai đoạn tổng hợp mới nhỏ gọn, chi phí thấp. Đơn vị này là một đơn vị đơn vị khái niệm mới tích hợp phần ách nam châm, là stator của động cơ tuyến tính và thanh dẫn hướng, là stato của hướng dẫn không khí. Cấu trúc hoàn toàn không tiếp xúc, sử dụng hướng dẫn động cơ và không khí tuyến tính, giảm thiểu các yếu tố nhiễu như ma sát tiếp xúc, đạt được độ ổn định tốc độ cao. Lý tưởng cho các thiết bị kiểm tra thực hiện các hoạt động quét. Nó có thể được sử dụng không chỉ như một giai đoạn bóng đá kết quả trục duy nhất, mà còn là giai đoạn XY bóng đá kết quả bằng cách kết hợp ba đơn vị. Các đơn vị tiêu chuẩn sẽ được cung cấp cho mỗi lực đẩy và bằng cách kết hợp các giai đoạn với các thông số kỹ thuật lực đẩy theo mỗi trục, giai đoạn XY sẽ được phát triển cho một loạt các ứng dụng. So với các thiết kế giai đoạn mới, công việc thiết kế có thể được đơn giản hóa và có thể cung cấp các giai đoạn bóng đá kết quả rẻ tiền trong một khoảng thời gian ngắn.
Ngoài ra, thay vì vòng bi không khí, chúng tôi cũng sẽ phát hành phiên bản rẻ hơn của đơn vị sân khấu bằng cách sử dụng các hướng dẫn lăn.
Xin lưu ý rằng bóng đá kết quả ty chúng tôi sẽ giữ đơn vị "Slim Giai đoạn" tại Makuhari Messe từ ngày 5 tháng 12
Chúng tôi sẽ trưng bày tại Semicon 2001.
*"Nanoplane" là nhãn hiệu đã đăng ký của các ngành bóng đá kết quả nghiệp nặng Sumitomo.
[Tính năng]
(1) Một bộ truyền động hoàn toàn không tiếp xúc tích hợp động cơ tuyến tính và ổ trục không khí
(2) Phương pháp không tiếp xúc hoàn toàn đảm bảo độ sạch cao
(3) bằng cách kết hợp các đơn vị giai đoạn theo các thông số kỹ thuật lực đẩy khác nhau
cũng có thể tương thích với các giai đoạn XY cho phạm vi sử dụng rộng
(4) Sử dụng động cơ tuyến tính độc quyền, hiệu suất cao, chi phí thấp
[Thông số kỹ thuật bóng đá kết quả]
Strawk: 100mm đến 1400mm
Phương pháp lái C: Động cơ tuyến tính + Vòng bi không khí
Độ bóng đá kết quả định vị tuyệt đối (※): ± 0,5μm
Lặp lại độ bóng đá kết quả định vị (※): ± 5cnt (lưu ý)
Tính ổn định tốc độ (※): ± 0,1% (@50mm/s)
*Thông số kỹ thuật được đánh dấu khác nhau tùy thuộc vào độ phân giải của thang đo tuyến tính được sử dụng.
[Giá]
Loại hướng dẫn không khí: 1,5 triệu yên ~
Hướng dẫn lăn Loại: 1 triệu yên ~
(Lưu ý) CNT: Viết tắt cho Đếm, 1 tỷ lệ của thang đo tuyến tính.
